Plazmalar kimyasal olarak aktif maddelerdir. Bu özelliklerinden dolayı pek çok islemde önemli yere sahiptirler. Aktivasyonlarına ve çalısma gücüne bağlı olarak düsük ya da çok yüksek sıcaklık aralıklarında olabilirler. Bu sebeple soğuk ve sıcak plazma olmak üzere ikiye ayrılırlar. Kimyasal özellikleri ve geniş sıcaklık aralıkları ile plazma yüzey kaplama, sterilizasyon, kimyasal sentez, dalga bozucu gibi alanlarda kullanılmaktadır. Soğuk plazmalar mikro elektronik ve metal isleme teknolojileri alanında pek çok uygulama yeri bulurlar. Fakat limitli vakumlu ortam gereksinimleri kullanım alanlarını sınırlar. Bu amaçla vakum olusturmanın maliyeti ve kısıtlamalarından kurtulmak için atmosferik basınç plazmalar gelisme asamasındadır. Bu çalısmada düzlemsel yalıtkan engel desarj sistemi incelenmistir. Düsük frekans (600 Hz - 1 kHz), sinusoidal voltaj (Vpp = 24 - 32 kV) ve farklı aralık değerlerinde bir atmosferik basınç helyum ve hava plazma desarj sistemi olusturulmustur. Desarj reaktörünün elektriksel modeli deneysel olarak doğrulanmıstır. Optik görüntüleri alınmıstır. Glow desarj hava plazmada gözlenmezken helyumda gözlenmistir. Anahtar Kelimeler: Atmosferik Plazma, Elektrik, Optik, Karakterizasyon.
Plasmas are chemical active materials. Plasmas have great importance because of being chemical active materials. They can be at any temperature from low to very high depending on their activation and power. Because of this reason, they are categorized as thermal or non thermal plasmas. They are used in many areas such as surface theratment, sterilization, chemical synthesis and jammer with their chemical properties and wide range of temperature. Non-thermal plasmas takes place many place in industry such as microelectronics and metal forming. Whereas their limited vacuum chamber requirements restrain their working area. Atmospheric plasmas in progress to be able to get rid of constitute vacuum environment and their limited usage. In this study electrical and optical properties of planer dielectric barrier discharge system is investigated. One atmospheric helium and air plasma discharge operated at low frequency (600 Hz . 1 kHz), sinusoidal voltage ( Vpp=24 . 32 kV) and different gap distance. Electrical model of discharge reactor has been verified by experimental results. Optical images have been taken. Glow discharge can not be seen in air discharge whilst it is seen easily in He ICCD pictures. Keywords: Atmospheric Plasma, Electric, Optic, Characterization.
Tez (Yüksek Lisans) - Süleyman Demirel Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalı, 2009.
Kaynakça var.
Plazmalar kimyasal olarak aktif maddelerdir. Bu özelliklerinden dolayı pek çok islemde önemli yere sahiptirler. Aktivasyonlarına ve çalısma gücüne bağlı olarak düsük ya da çok yüksek sıcaklık aralıklarında olabilirler. Bu sebeple soğuk ve sıcak plazma olmak üzere ikiye ayrılırlar. Kimyasal özellikleri ve geniş sıcaklık aralıkları ile plazma yüzey kaplama, sterilizasyon, kimyasal sentez, dalga bozucu gibi alanlarda kullanılmaktadır. Soğuk plazmalar mikro elektronik ve metal isleme teknolojileri alanında pek çok uygulama yeri bulurlar. Fakat limitli vakumlu ortam gereksinimleri kullanım alanlarını sınırlar. Bu amaçla vakum olusturmanın maliyeti ve kısıtlamalarından kurtulmak için atmosferik basınç plazmalar gelisme asamasındadır. Bu çalısmada düzlemsel yalıtkan engel desarj sistemi incelenmistir. Düsük frekans (600 Hz - 1 kHz), sinusoidal voltaj (Vpp = 24 - 32 kV) ve farklı aralık değerlerinde bir atmosferik basınç helyum ve hava plazma desarj sistemi olusturulmustur. Desarj reaktörünün elektriksel modeli deneysel olarak doğrulanmıstır. Optik görüntüleri alınmıstır. Glow desarj hava plazmada gözlenmezken helyumda gözlenmistir. Anahtar Kelimeler: Atmosferik Plazma, Elektrik, Optik, Karakterizasyon.
Plasmas are chemical active materials. Plasmas have great importance because of being chemical active materials. They can be at any temperature from low to very high depending on their activation and power. Because of this reason, they are categorized as thermal or non thermal plasmas. They are used in many areas such as surface theratment, sterilization, chemical synthesis and jammer with their chemical properties and wide range of temperature. Non-thermal plasmas takes place many place in industry such as microelectronics and metal forming. Whereas their limited vacuum chamber requirements restrain their working area. Atmospheric plasmas in progress to be able to get rid of constitute vacuum environment and their limited usage. In this study electrical and optical properties of planer dielectric barrier discharge system is investigated. One atmospheric helium and air plasma discharge operated at low frequency (600 Hz . 1 kHz), sinusoidal voltage ( Vpp=24 . 32 kV) and different gap distance. Electrical model of discharge reactor has been verified by experimental results. Optical images have been taken. Glow discharge can not be seen in air discharge whilst it is seen easily in He ICCD pictures. Keywords: Atmospheric Plasma, Electric, Optic, Characterization.