İnce filmler, yarı iletken aletlerin yapımında, manyetik kayıt ve algılama sistemlerinde, optik kaplamalarda ve dekoratif işlerde yaygınlıkla kullanılmaktadır.İnce film kaplama yöntemleri ve bu yöntemlerde kullanılan işlemler ince filmlere farklı özellikler kazandırır.Bu çalışma da ince film büyütme metotlarından bahsedilmektedir. Son zamanlarda yaygın olarak kullanılan metot ise sol-jel yöntemdir. Başlangıç malzemesi olarak bir sol kullanıldığı ve bu solu kullanarak jel elde edildiği için bu yöntem "sol-jel yöntemi" olarak adlandırılır. Sol-jel kaplama tekniklerinin de üzerinde durulmuştur.Çalışmada kaplama tekniği olarak döndürmeli kaplama kullanılmıştır.Sonrasında TiO2 ile kaplanan iletken camların ince filmlerinin optik özellikleri çalışıldı ve optik sabitlerinin geçirgenlik-dalga boyu spektrumundan nasıl elde edildiği hakkında bilgi verildi. Anahtar Kelimeler: Sol-jel Yöntemi, Döndürmeli Kaplama, TiO2, İletken Cam
Thin films is widely used in semi-conductor tools, magnetic recording and detection systems, optical coatings and decorative works. Thin film coating methods and procceses which is used in this methods brings in different properties to thin films.In this study, thin film deposition methods are discussed. Recently, widely used method is the sol-gel method. Because of the sol is used as a starting material and a jel is derived from this sol, this method called as "sol-gel method". In this study spin coating technique is used as coating method.Following, optical properties of this thin films which is coated by TiO2 is studied and information about how the optical constant derived from transmittance-wavelength spectrum is given. Keywords Sol-gel method, spin-coating method, TiO2, conductor glasses
Tez (Yüksek Lisans) - Süleyman Demirel Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalı, 2014.
Kaynakça var.
İnce filmler, yarı iletken aletlerin yapımında, manyetik kayıt ve algılama sistemlerinde, optik kaplamalarda ve dekoratif işlerde yaygınlıkla kullanılmaktadır.İnce film kaplama yöntemleri ve bu yöntemlerde kullanılan işlemler ince filmlere farklı özellikler kazandırır.Bu çalışma da ince film büyütme metotlarından bahsedilmektedir. Son zamanlarda yaygın olarak kullanılan metot ise sol-jel yöntemdir. Başlangıç malzemesi olarak bir sol kullanıldığı ve bu solu kullanarak jel elde edildiği için bu yöntem "sol-jel yöntemi" olarak adlandırılır. Sol-jel kaplama tekniklerinin de üzerinde durulmuştur.Çalışmada kaplama tekniği olarak döndürmeli kaplama kullanılmıştır.Sonrasında TiO2 ile kaplanan iletken camların ince filmlerinin optik özellikleri çalışıldı ve optik sabitlerinin geçirgenlik-dalga boyu spektrumundan nasıl elde edildiği hakkında bilgi verildi. Anahtar Kelimeler: Sol-jel Yöntemi, Döndürmeli Kaplama, TiO2, İletken Cam
Thin films is widely used in semi-conductor tools, magnetic recording and detection systems, optical coatings and decorative works. Thin film coating methods and procceses which is used in this methods brings in different properties to thin films.In this study, thin film deposition methods are discussed. Recently, widely used method is the sol-gel method. Because of the sol is used as a starting material and a jel is derived from this sol, this method called as "sol-gel method". In this study spin coating technique is used as coating method.Following, optical properties of this thin films which is coated by TiO2 is studied and information about how the optical constant derived from transmittance-wavelength spectrum is given. Keywords Sol-gel method, spin-coating method, TiO2, conductor glasses