| dc.creator |
Durmaz, Yakup,
1988-
author
143419 |
|
| dc.creator |
Öksüz, Lütfi,
1968-
thesis advisor
15214 |
|
| dc.creator |
Süleyman Demirel Üniversitesi.
Fen Bilimleri Enstitüsü.
Fizik Anabilim Dalı.
9075
issuing body |
|
| dc.date |
2015. |
|
| dc.identifier |
http://tez.sdu.edu.tr/Tezler/TF03024.pdf |
|
| dc.description |
Atmosferik basınçta yüksek saflıktaki helyum ve argon gazları kullanılarak indüktif eşleşmiş plazma deşarjı gerçekleştirilmiştir. Atmosferik basınçta indüktif eşleşmiş plazma oluşturmak için 13,56 MHz frekansında RF güç kaynagı kullanılmıştır. Dizayn ettiğimiz IEP nin plazma karakteristiklerinin belirlenmesi için optik emisyon spektroskopisi kullanıldı. Spektroskopi sonuçları kullanılarak elektron sıcaklıkları ve elektron yoğunlukları hesaplandı. Aynı gaz akış oranı (13 lpm) ve rf güç (1000 W) için argon indüktif eşleşmiş plazmadaki elektron sıcaklığı (3391 K) ve plazma elektron yoğunluğun(3 x 1018 cm-3 ), helyum indüktif eşleşmiş plazmadaki elektron sıcaklığı (1089 K) ve elektron yoğunluğundan( 4,1 x 1015 cm-3) yüksek olduğu görüldü. Elde edilen bu sonuçlara göre; argon ve helyum plazmaların yüksek elektron yoğunlukları ve yüksek elektron sıcaklıklarına sahip oldukları görüldü. Anahtar Kelimeler: İndüktif eşleşmiş plazma, RF, plazma karakteristliği, yüksek yoğunluklu plazma, atmosferik basınç. |
|
| dc.description |
Inductively coupled plasma discharge using helium and argon gas of high purity was carried out at atmospheric pressure. At 13.56 MHz to create a plasma at atmospheric pressure inductively coupled RF power source is used. ICP optical emission spectroscopy for determining the plasma characteristics we design was used. Spectroscopy results were calculated using the electron temperature and electron density. The same gas flow rate (13 lpm) and RF power (1000 W) for the electron temperature in the argon inductively coupled plasma (3391 K) and the plasma electron density (3 x 1018 cm-3), the electron temperature in helium inductively coupled plasma (1089 K) and the electron density (4.1 x 1015 cm-3) were found to be high. According to the results; argon and helium plasma of high electron density and were shown to have high electron temperature. Keywords: Inductively couple plasma, RF, plasma characteristic, high density plasma, atmospheric pressure |
|
| dc.description |
Tez (Yüksek Lisans) - Süleyman Demirel Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalı, 2015. |
|
| dc.description |
Kaynakça var. |
|
| dc.description |
Atmosferik basınçta yüksek saflıktaki helyum ve argon gazları kullanılarak indüktif eşleşmiş plazma deşarjı gerçekleştirilmiştir. Atmosferik basınçta indüktif eşleşmiş plazma oluşturmak için 13,56 MHz frekansında RF güç kaynagı kullanılmıştır. Dizayn ettiğimiz IEP nin plazma karakteristiklerinin belirlenmesi için optik emisyon spektroskopisi kullanıldı. Spektroskopi sonuçları kullanılarak elektron sıcaklıkları ve elektron yoğunlukları hesaplandı. Aynı gaz akış oranı (13 lpm) ve rf güç (1000 W) için argon indüktif eşleşmiş plazmadaki elektron sıcaklığı (3391 K) ve plazma elektron yoğunluğun(3 x 1018 cm-3 ), helyum indüktif eşleşmiş plazmadaki elektron sıcaklığı (1089 K) ve elektron yoğunluğundan( 4,1 x 1015 cm-3) yüksek olduğu görüldü. Elde edilen bu sonuçlara göre; argon ve helyum plazmaların yüksek elektron yoğunlukları ve yüksek elektron sıcaklıklarına sahip oldukları görüldü. Anahtar Kelimeler: İndüktif eşleşmiş plazma, RF, plazma karakteristliği, yüksek yoğunluklu plazma, atmosferik basınç. |
|
| dc.description |
Inductively coupled plasma discharge using helium and argon gas of high purity was carried out at atmospheric pressure. At 13.56 MHz to create a plasma at atmospheric pressure inductively coupled RF power source is used. ICP optical emission spectroscopy for determining the plasma characteristics we design was used. Spectroscopy results were calculated using the electron temperature and electron density. The same gas flow rate (13 lpm) and RF power (1000 W) for the electron temperature in the argon inductively coupled plasma (3391 K) and the plasma electron density (3 x 1018 cm-3), the electron temperature in helium inductively coupled plasma (1089 K) and the electron density (4.1 x 1015 cm-3) were found to be high. According to the results; argon and helium plasma of high electron density and were shown to have high electron temperature. Keywords: Inductively couple plasma, RF, plasma characteristic, high density plasma, atmospheric pressure |
|
| dc.language |
tur |
|
| dc.publisher |
Isparta : Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü, |
|
| dc.subject |
Süleyman Demirel Üniversitesi |
|
| dc.title |
Atmosferik basınç indüktif eşleşmiş plazma karakteristikleri = Characteristics of atmospheric pressure inductively coupled plasma / |
|
| dc.type |
text |
|