| dc.creator |
ŞAHİN, Neslihan; FEN FAKÜLTESİ |
|
| dc.date |
2019-11-30T00:00:00Z |
|
| dc.date.accessioned |
2020-01-02T08:37:26Z |
|
| dc.date.available |
2020-01-02T08:37:26Z |
|
| dc.identifier |
https://dergipark.org.tr/tr/pub/sdufeffd/issue/50336/573326 |
|
| dc.identifier |
10.29233/sdufeffd.573326 |
|
| dc.identifier.uri |
http://acikerisim.sdu.edu.tr/xmlui/handle/123456789/49577 |
|
| dc.description |
İndüktif olarak bağlıradyo-frekans (RF) deşarj odasında 0,17 mbar ile 1,4 mbar arasındaki basınçlardabulunan neon (Ne) deşarjını karakterize etmek için optik emisyon spektrumlarıkullanılmıştır. 13,56 MHz frekansında 100, 160 ve 200 W çıkış güçlerindeçalışan RF güç kaynağı ile kuvars deşarj odasının iki farklı bölgesinde saf neongazının akan deşarjı elde edilmiştir. Bu farklı iki bölgenin optik emisyonspektrumları 200-1200 nm dalga boyları aralığında elde edilmiştir. Amaç seçileniki farklı bölge için ayrı ayrı plazma optik özellikleri belirlemektir. Neonakan deşarjı için elde edilen spektral çizgiler 585,248 ve 724,516 nm dalgaboyları arasındadır. İndüktif bağlı deşarj sisteminde yaklaşık 0,77 mbarbasınçta elde edilen deşarjın spektral çizgilerinin şiddetleri maksimum olarakortaya çıkmıştır. Her iki deşarj bölgesi için uyarılma ve elektron sıcaklıklarımatematiksel modeller ile tahmin edilmiştir. |
|
| dc.description |
Theoptical emission spectra were used to characterize the neon (Ne) discharge inthe inductive coupled radio-frequency (RF) discharge chamber at pressuresbetween 0.17 mbar and 1.4 mbar. With the RF power source operating at 100, 160and 200 W output power at 13.56 MHz frequency, flowing discharge of pure neongas is obtained in two different regions of the quartz discharge chamber. Theoptical emission spectra of these two differentregions were obtained in the wavelength range of 200-1200 nm. The aim is todetermine the optical properties of plasma for two different regions selectedseparately. The spectral lines obtained for the neon flowing discharge arebetween the wavelengths of 585.248 and 724.516 nm. In the inductive coupleddischarge system, the intensities of the spectral lines of discharge obtainedat a pressure of approximately 0.77 mbar were maximum. It was attempted toestimate the excitation and electron temperatures for both discharge regions bymathematical models. |
|
| dc.format |
application/pdf |
|
| dc.language |
tr |
|
| dc.publisher |
Süleyman Demirel University |
|
| dc.publisher |
Süleyman Demirel Üniversitesi |
|
| dc.relation |
https://dergipark.org.tr/tr/download/article-file/865245 |
|
| dc.source |
Volume: 14, Issue: 2
213-226 |
en-US |
| dc.source |
1306-7575 |
|
| dc.subject |
İndüktif bağlı deşarjlar,Düşük basınç deşarj,Deşarjın optik özelikleri,Yüksek frekans ve RF deşarjlar |
|
| dc.subject |
Inductive coupled discharge,Low pressure discharge,Optical properties of discharge,High frequency and RF discharge |
|
| dc.title |
Düşük Basınçta İndüktif Bağlı Radyo-Frekans Neon Akan Deşarjın Özellikleri |
tr-TR |
| dc.title |
The Properties of Inductive Coupled Radio-Frequency Neon Flowing Discharge at Low-Pressure |
en-US |
| dc.type |
info:eu-repo/semantics/article |
|