Özet: Hızlandırıcı sistemlerinde Optik Geçiş Radyasyonu (OTR), demet profilini belirlemede kullanılır. OTR sistemlerinde görüntüleme ekranı olarak genelde alüminyum ve altın kullanılmaktadır. Bu çalışmada OTR sistemlerinde Silikon (Si) materyalinin görüntüleme ekranı olarak kullanılabilirliği simülasyon çalışması gerçekleştirilmiştir. Simülasyon çalışmaları, 18,5 MeV ve 38,5 MeV farklı iki elektron demet enerjileri ile görüntüleme ekranları olarak alüminyum, kurşun, titanyum, bakır, gümüş, altın materyalleri ve silikon üzerinde yapılmıştır. Simülasyon sonuçlarından da görülebileceği gibi, silikon tabanlı görüntüleme ekranları OTR sistemlerinde iyi bir seçenek olabilir.Anahtar kelimeler: Silikon detektörler, OTR görüntüleme sistemi, geant4.Abstract: Optical Transition Radiation (OTR) is used for beam profile measurements in accelerator facilities. In OTR systems generally aluminum and gold are used as view screens. In this work, the simulation studies were carried out on usability of Silicon (Si) material as view screens in OTR systems. The simulations studies were carried out with two different electron beam energies of 18.5 MeV and 38.5 MeV on aluminum, lead, titanium, copper, silver, gold and silicon based view screen materials. It can be seen from the simulation results that silicon based view screens will be a good candidate as view screen in OTR systems.Key words: Particle detectors, silicon detectors, transition radiation, geant4.