Saydam iletken oksitler; diyot, transistör ve ısık yayan diyotlar gibi p-n eklem tabanlı oksit aygıtlar, opto-elektronik cihazlar ve fotovoltaik günes pilleri için umut verici malzemelerdir. Bu cihazlarda kullanılabilen yarıiletken malzemelerin elektrik, optik, yapısal ve yüzey özellikleri bu aygıtların verimliliklerini önemli derecede etkilemektedir. Bu yüzden bu aygıtlarda kullanılmak üzere üretilen yarıiletken filmlerin belirtilen özelliklerinin ayrıntılı bir sekilde incelenmesi gerekmektedir. Bu çalısmada bazı opto-elektronik cihazlarda ve yarıiletken ince film günes pillerinde kullanılabilecek katkısız ve Li katkılı SnO2 filmleri ultrasonik kimyasal püskürtme teknigi ile üretilmis ve üretilen bu filmlerin XRD ile yapısal özellikleri, SEM ile yüzeysel özellikleri ve EDS ile elemental analizleri incelenmistir. Bu incelemeler sonucunda bazı opto-elektronik cihazlarda ve yarıiletken ince film günes pillerinde kullanılabilirlikleri arastırılmıstır.